產(chǎn)品描述：
particle在半導(dǎo)體廠(chǎng)中是不良率禍?zhǔn)字唬绕湓诂F(xiàn)在的制程越來(lái)越小的情況下，如管路中含有過(guò)多的particle，對(duì)生產(chǎn)加工的良率影響很大
